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VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī),勻膠機(jī)

簡要描述:VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī),勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī),在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過程的順利進(jìn)行。本機(jī)電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2022-09-16
  • 訪  問  量:2534

詳細(xì)介紹

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產(chǎn)品型號

VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī),勻膠機(jī)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

3、氣:不需要

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī),勻膠機(jī)

1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡便;橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。

2、該機(jī)上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。

3、本機(jī)上蓋具有4組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。

4、電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式,電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠,轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。

5、涂膜機(jī)在工作時設(shè)有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要,可分別進(jìn)行時間1、轉(zhuǎn)速1、時間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動后,涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速1在時間1時間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當(dāng)時間1時間結(jié)束時,涂膜機(jī)自動進(jìn)入時間2時間階段運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)更加均勻。

6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與*性。

7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時的噪音。

8、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC220/110V、50/60Hz

2、電機(jī)功率:功率210W

3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時間分別設(shè)置,在啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(滴涂膠液),然后自動轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質(zhì)均勻。

轉(zhuǎn)數(shù)1:100-2000 RPM有效

時間1:1--200s有效

轉(zhuǎn)數(shù)2:100-2000 RPM有效

時間2:1--200s有效

4、適用于Φ153mm樣件涂膜。

5、上蓋加熱溫度范圍:0-100℃。

6、環(huán)境溫度5-40℃,相對濕度不大于85%RH,設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體影響。

規(guī)格尺寸

主機(jī)外形尺寸500mm(長)×410mm(寬)×330mm(高),重量24Kg。

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

磁性鋼片模板(Ф160mm)

1件

2

吸盤(Ф153mm)

1件

3

溫控箱

1臺

4

蠕動泵

6臺

可選配件

橡膠吸盤

橡膠吸盤

磁力鋼片模板(可定制)

磁力鋼片模板

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